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    平面顯示器薄膜太陽能電池用鉬靶材的特性

    發布時間:2021-04-21 09:31:57 瀏覽次數 :

    因為鉬具有高熔點、高電導率、較低的比阻抗以及較好的耐腐蝕性和環保性等特點,所以鉬靶材被廣泛應用于電子行業,例如平面顯示器、薄膜太陽能電池的電極和配線材料,凱澤金屬將鉬靶材的特性,結合相關資料,整理如下:

    1、高純度

    鉬靶材的純度越高,濺射薄膜的性能越好。一般鉬濺射靶材的純度至少需要達到99.95%。但隨著LCD行業玻璃基板尺寸的不斷提高,要求配線的長度延長、線寬變細,為了保證薄膜的均勻性以及布線的質量,對鉬濺射靶材的純度的要求也相應提高。因此,根據濺射的玻璃基板的尺寸以及使用環境,鉬濺射靶材的純度要求在99.99%-99.999%甚至更高。

    2、高致密度

    濺射鍍膜的過程中,致密度較小的濺射靶受轟擊時,由于靶材內部孔隙內存在的氣體突然釋放,造成大尺寸的靶材顆?;蛭⒘ow濺,或成膜之后膜材受二次電子轟擊造成微粒飛濺,這些微粒的出現會降低薄膜品質。為了減少靶材固體中的氣孔,提高薄膜性能,一般要求濺射靶材具有較高的致密度。對鉬濺射靶材而言,其相對密度應該在98%以上。

    3、晶粒尺寸

    通常鉬濺射靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。試驗研究表明,細小尺寸晶粒靶的濺射速率要比粗晶粒快,而晶粒尺寸相差較小的靶,淀積薄膜的厚度分布也較均勻。

    4、結晶方向

    由于濺射時靶材原子容易沿原子六方緊密排列方向擇優濺射出來,因此,為達到濺射速率,常通過改變靶材結晶結構的方法來增加濺射速率。靶材的結晶方向對濺射膜層的厚度均勻性影響也較大。因此,獲得-一定結晶取向的靶材結構對薄膜的濺射過程至關重要。

    5、導熱導電

    一般鉬濺射靶材濺射前必須與無氧銅(或鋁等其他材料)底盤連接在一起,使濺射過程中靶材與底盤的導熱導電狀況良好。綁定后必須經過超聲波檢驗,保證兩者的不結合區域小于2% ,這樣才能滿足大功率濺射要求而不致脫落。

    6、凱澤金屬鉬靶材性能

    純度:純鉬≥99.95%,高溫鉬≥99%(添加稀土元素)

    密度:≥10.2g/cm3

    熔點:2610℃

    規格:圓形靶,板靶,旋轉靶,平面靶,多弧靶

    適用環境:真空環境或惰性氣體保護環境,純鉬較高耐高溫1200度,鉬合金較高耐高溫1700度。

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    以上就是對于鉬靶材特性的介紹,鉬靶材的性能與濺射工藝息息相關,由于目前鉬還存在著耐腐蝕性和密著性的不足,在鉬靶材中加入合金元素可使濺射薄膜的性能更加均衡。寶雞市凱澤金屬材料有限公司生產的鉬靶材純度高達99.9%,可以根據客戶需求進行定制,歡迎您致電咨詢。

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